Alimentatore elettrico DC/DC 645

ad uscita variabileper rack

I viaggi modellano 645 che Chuck Supply elettrostatico implicante l'ausilio del software offre una matrice delle caratteristiche che forniscono i benefici significativi mentre accomodano varie applicazioni esigenti. L'uso documentato indica che i clienti hanno visto gli aumenti nell'uguale di capacità di lavorazione e di efficienza a tre volte che di altri rifornimenti. Ulteriormente, i 645 di modello virtualmente eliminano il wafer appiccicoso e le edizioni schioccanti del wafer, così assicurando il migliore controllo sopra contaminazione della particella. Dato la versatilità e la prestazione dei 645 di modello, può essere utilizzato in strumenti unici multipli/processi, così eliminando la necessità di specificare un nuovo rifornimento per ogni strumento/processo unici in una funzione. Specifiche chiave Sincronizzazione dell'uscita: Tensione A (fase di riferimento): 0 a ±2 chilovolt Tensione B (fase B = [- 1] fase A di x): 0 a ±2 chilovolt Gamma di tensione in uscita: 0 a ±2 chilovolt Gamma della corrente d'uscita: 0 a CC di ±6.5 mA con una capacità di punta di 10 mA Le applicazioni tipiche includono da manipolazione guidata da elettrostatica dei materiali Elaborazione del wafer a semiconduttore Trasferimento non meccanico degli schermi piatti o di altri materiali d'elaborazione sensibili al ritaglio meccanico Caratteristiche e benefici Sostiene sia le tecnologie di ESC di Johnsen-Rahbek che di Coulombic Utente configurabile per le sequenze su ordinazione del declamp e del morsetto e le forme di onda I profili elettrostatici del mandrino possono essere caricati all'unità ed essere immagazzinati internamente via un'interfaccia di software facile da usare Riduzione documentata degli errori del gas della parte, della capacità di lavorazione aumentata e dell'eliminazione wafer appiccicosi/schioccanti Interfaccia di controllo chiudibile a chiave del pannello frontale Abilità ai parametri di controllo quali le soglie wafer-attuali e wafer-premuta di sovracorrente, tensione del morsetto,