Alimentatore elettrico AC/DC 640

ad uscita variabilebenchtop

Il sistema elettrostatico di Chuck Optimizer del modello 640 del viaggio è uno strumento diagnostico che permette alla valutazione ed all'ottimizzazione delle forme d'onda/delle tensioni per i mandrini/morsetti elettrostatici per minimizzare il tempo del de-morsetto, massimizzare la forza del morsetto e raggiunge il wafer ottimale che elabora per i sistemi di ESC. Il modello 640 combina due amplificatori (per le combinazioni bifasi di tensione) e un generatore di forma d'onda, che possono essere programmati e configurati indipendente per studiare, ricercare e scoprire la ricetta perfetta dell'alimentazione elettrica e di forma d'onda per determinare efficientemente un'applicazione di ESC. Un voltometro elettrostatico (ESVM) è incluso per controllare la tensione residua dal processo di clamping/de-clamping. Specifiche chiave Sincronizzazione dell'uscita: Tensione A: 0 a ±2 chilovolt (4 chilovolt p-a-p) Tensione B: 0 a ±2 chilovolt (4 chilovolt p-a-p) Gamma della corrente d'uscita: 0 a CC di ±5 mA con una capacità di punta di 10 mA Gamma elettrostatica del voltometro: 0 a CC di ±2 chilovolt o a CA del picco Sincronizzazione dell'uscita: Risoluzione: bit 16 Campioni al secondo: 250k Le applicazioni tipiche includono da manipolazione guidata da elettrostatica dei materiali Elaborazione del wafer a semiconduttore Trasferimento non meccanico degli schermi piatti o di altri materiali d'elaborazione sensibili al trattamento meccanico Caratteristiche e benefici Permette alla creazione delle forme d'onda su misura di essere semplice eppure potente, generare le forme d'onda più complesse che possono essere prevedute dall'utente Il software del prodotto accetta i parametri via l'immissione dei dati arbitraria, forme d'onda preprogrammate, o l'utente ha generato gli archivi di CSV Accomoda i sistemi unifasi o bifasi di ESC La ricerca è migliorata via tre fasi individualmente programmate per sviluppare l'uscita