Analizzatore di gas di processo QULEE RGM series

di monitoraggiodi processodi pressione

SISTEMA DI MONITORAGGIO GAS DI PROCESSO REATTIVO - SERIE QULEE RGM Questo sistema di monitoraggio di processo è stato sviluppato per vari tipi di applicazioni come l'etch, CVD e altri processi di gas reattivi. L'utilizzo della sorgente ionica e del sistema di pompaggio originali ULVAC consente di ottenere risultati di misurazione stabili. La soluzione più appropriata per l'apparecchiatura di mordenzatura/CDV Risultati di misura stabili a lungo termine Sorgente ionica chiusa che utilizza un campo magnetico La ionizzazione morbida fornisce una minore dissociazione del gas e una maggiore sensibilità. La decomposizione e l'adsorbimento dovuti a reazioni termiche sono ridotti al minimo nella camera di ionizzazione. Valvola a conduttanza compatta con 3 diverse modalità di ingresso gas La breve distanza tra la camera di processo e la sorgente ionica consente di risposta rapida dell'analisi. Adatto per il monitoraggio del processo Ampio range di pressione da 1×10-6 a 13kPa (7,5×10-9 a 97,5 Torr, 1×10-8 a 130mbar) è disponibile. (Scelta degli orientamenti) Display integrato Non c'è bisogno di PC Funzionamento semplice "Funzione "One Click Cuocere Max 120˚C (248˚F) Cottura ad alta temperatura Funzione Degas Degas da bombarda elettronica Fattibilità di protezione e manutenzione Protezione e manutenzione della sorgente ionica e dell'elettrone secondario moltiplicatore Rintracciabilità del tubo di analisi (in attesa di brevetto) Sono disponibili vari test di tenuta Prova di tenuta dell'elio, prova di tenuta dell'aria, perdita su Misurazione della pressione totale In grado di misurare la pressione totale (Manometro a ionizzazione esterno (GI-M2) Qulee QCS è incluso Questo software è incluso e compatibile con (Windows XP/7)