Per la serratura del carico e l'isolamento trattato della camera nei sistemi di produzione a semiconduttore per i wafer da 200 e 300 millimetri. - Chiuso a chiave meccanicamente nella posizione chiusa - scossa bassa - le linguette di pressione differenziale DANNO UNA OCCHIATA invece AL SUS standard (opzione)
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.