Valvola di trasferimento per i sistemi di produzione della generazione 4 fino a 11 Flat Panel Display. Nei sistemi di produzione FPD la valvola di trasferimento TwinVAT è utilizzata per il blocco del carico, il trasferimento e l'isolamento della camera di processo.
Valvola
Unità di controllo di processo (PCU) ed elettrovalvole
Trattamento superficiale, ad es. alluminio anodizzato duro
Manometro per rilevare la pressione all'interno del corpo valvola
Posizione di montaggio verticale
Cancello
Altri materiali di tenuta
Messa a terra elettrica
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