Sistema di ricottura a punta laser a controllo ambientale LSA201
Il sistema LSA201 Laser Spike Annealing (LSA) di Veeco ha la stessa architettura dell'LSA101, ma include un design brevettato a microcamera che consente il controllo completo dell'ambiente in un sistema laser a scansione. La microcamera è unica nel suo genere in quanto non richiede l'uso di un sistema di bloccaggio del carico a vuoto. Il sistema è in grado di far funzionare miscele di qualsiasi gas inerte, compreso il gas di formazione. La LSA201 è destinata ad applicazioni quali l'attivazione di giunzioni di cancelli metallici ad alta k e la formazione di siliciuro di nichel. La LSA201 è particolarmente adatta per processi al di sotto dei 20 nm, come l'ingegneria delle interfacce e la modifica dei materiali, dove il controllo ambientale è fondamentale
Caratteristiche principali
Lunghezza d'onda lunga, angolo di Brewster, luce p-polarizzata per un'ottima uniformità all'interno dello stampo
Controllo di retroazione della temperatura ad anello chiuso per mantenere uno stretto controllo della temperatura
Design indipendente dal layout ideale per l'elaborazione di dispositivi sia piallatrice che FinFET
Il campo di sollecitazione localizzato con tempo di permanenza flessibile consente una lavorazione a basse sollecitazioni e una ridotta rottura dei wafer
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