Lastra di ceramica

ad anellodi nitrito di borodi isolamento

Il nitruro di boro esagonale pressato a caldo viene spesso definito "grafite bianca", poiché presenta una struttura a strati simile a quella della grafite. Ha caratteristiche termiche eccezionali: elevata conducibilità termica ed eccellente resistenza agli shock termici. È stabile fino a 2000 °C in atmosfera riducente e fino a 900 °C in atmosfera ossidante. Ha caratteristiche quali l'elevata lavorabilità, la bassa espansione termica, la trasparenza alle microonde e l'elevata resistenza all'umidità di metalli fusi, scorie e vetro. Le parti in ceramica di nitruro di boro sono ampiamente utilizzate come sistemi PVD, MOCVD, MBE, componenti di forni, crogioli di fusione, isolanti, rondelle, ugelli, tubi a microonde, dissipatori di calore e schermature contro le radiazioni termiche. Un reattore MOCVD è una camera realizzata in un materiale che non reagisce con le sostanze chimiche utilizzate. Deve inoltre resistere alle alte temperature. Questa camera è composta dalle pareti del reattore, da un liner, da un susceptor, da unità di iniezione del gas e da unità di controllo della temperatura. Nel reattore MOCVD, il substrato è supportato da un piedistallo, che funge anche da intercettatore. Il piedistallo/suscettore è l'origine primaria dell'energia termica nella camera di reazione. Solo il sensore viene riscaldato, quindi i gas non reagiscono prima di raggiungere la superficie calda del wafer. Le pareti della camera di reazione in un reattore a parete fredda, tuttavia, possono essere riscaldate indirettamente dal calore irradiato dal piedistallo/suscettore caldo, ma rimarranno più fredde del piedistallo/suscettore e del substrato che il piedistallo/suscettore sostiene. Il nitruro di boro è quindi una buona scelta perché la densità di potenza, la temperatura di esercizio, il grado di isolamento e la rigidità dielettrica degli elementi riscaldanti possono essere notevolmente migliorati utilizzando il nitruro di boro come isolante.