Il sensore di gas combustibile MEMS utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato di Si, materiali sensibili ai gas utilizzati nell'aria pulita con materiale semiconduttore di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzare un circuito semplice può convertire la variazione di conduttività della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
Rilevamento di fughe di gas per telefoni cellulari, computer e altre applicazioni di elettronica di consumo; si applicano anche per l'uso domestico e commerciale dei dispositivi di monitoraggio delle perdite di gas combustibile, rilevatori di perdite di gas, sistemi di rilevamento di incendi/sicurezza.
Caratteristiche
Tecnologia MEMS, costruzione robusta
Elevata sensibilità ai gas combustibili
Piccole dimensioni e basso consumo energetico
Risposta rapida e riprendere
Circuito di azionamento semplice, lunga durata