Il sensore di gas di fumo MEMS utilizza una piastra calda di microfabbricazione MEMS su una base di substrato di Si, materiali sensibili ai gas utilizzati nell'aria pulita con materiale semiconduttore di ossido di metallo a bassa conduttività. Quando il sensore è esposto all'atmosfera gassosa, la conduttività cambia in base alla concentrazione di gas rilevata nell'aria. Maggiore è la concentrazione del gas, maggiore è la conduttività. Utilizzare un circuito semplice può convertire la variazione di conduttività della concentrazione di gas corrispondente al segnale di uscita.
Applicazioni
Principalmente utilizzato nei rilevatori di fumo fissi o portatili o allarmi per applicazioni domestiche e industriali
Tecnologia MEMS, costruzione robusta
Elevata sensibilità ai gas combustibili
Piccole dimensioni e basso consumo energetico
Risposta rapida e riprendere
Circuito di azionamento semplice, lunga durata