Interferometro per misurazione di spostamento ZMI™ Series

otticolaserper litografia

Le configurazioni standard degli interferometri ZYGO supportano molti tipi di scenari di misura. La maggior parte degli interferometri può supportare un orientamento di misura rettilineo o ad angolo retto e può essere prodotta per il funzionamento nel vuoto. Questa unità misura bersagli retroriflettenti per il tracciamento di oggetti che si muovono principalmente in una dimensione lineare o che ruotano attorno a un punto fisso. ZYGO offre interferometri lineari di dimensioni standard e compatte per adattarsi ai diversi vincoli di spazio del sistema. Esempi: Stadi a reticolo, sistemi a portale, specchi di guida Questa unità misura bersagli a specchio piano per il tracciamento di oggetti che si muovono in più dimensioni lineari con rotazioni limitate. Gli interferometri a specchio piano di ZYGO sono progettati per garantire un'elevata stabilità e ridurre l'errore termico. Esempi: Stadi per wafer, sistemi di stadi impilati Questa unità misura le variazioni dell'indice di rifrazione per compensare altri assi di misura. Il Compensatore compatto di lunghezza d'onda di ZYGO fornisce un feedback ad alta precisione della variazione dell'indice per ottenere le migliori prestazioni di misura dello spostamento in condizioni ambientali. Il sistema di misura è completato dall'instradamento del fascio dal laser agli interferometri e infine all'elettronica di misura. ZYGO offre una varietà di specchi pieghevoli standard, beamsplitter, pickup in fibra ottica e cavi in fibra per una configurazione flessibile del sistema di misura.