Interferometro per misurazione di spostamento ZMI™ Series

otticolaserdifferenziale

L'elettronica di misura ZMI™ calcola lo spostamento utilizzando i segnali ottici degli interferometri pilotati da una sorgente laser ZMI™. Lo ZMI™ 501A offre due assi di misura in un comodo contenitore indipendente. Le schede delle serie ZMI™ 2400, 4000 e 4100 offrono una risoluzione sub-nanometrica per le applicazioni di metrologia di posizione più complesse. Queste schede possono essere aggiunte in modo modulare in uno chassis VME per fornire una scalabilità fino a 64 assi di misura. Per ottenere la massima precisione di misura, l'opzione brevettata Cyclic Error Correction elimina automaticamente e senza soluzione di continuità i comuni errori non lineari intrinseci ai sistemi DMI.