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... un film sottile di Al2O3 sulla superficie frontale del wafer di una cella solare cristallina mediante la deposizione termica di strati atomici (ALD) per formare uno strato di passivazione. Spec Alta ...
... Deposizione di film sottili AlO+SiN. - Processo di deposizione a strato atomico, con una migliore uniformità del film. - Il film sottile multistrato viene depositato nella stessa apparecchiatura di ...
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