Macchina di evaporazione sotto vuoto per dispositivi elettronici Sybilla

Presentazione
Gamma di macchine per il deposito di film ultrassottili di parilene. La serie Sybilla è sviluppata per il deposito di parilene mediante CVD, con soluzioni su misura adattate a diverse esigenze e applicazioni industriali.

Tecnologie e sistemi

• Tecnologie di deposito di parilene sviluppate in collaborazione con Coat-X.
• Sistemi di deposito a bassa temperatura per il rivestimento di dispositivi elettronici, medicali o semiconduttori: CX-30/300/600.
• Sistema innovativo di deposito multistrato ibrido Parylene - ALD: CXC-20.
• Modulo ALD e modulo PVD opzionali collegati tramite un sistema di trasferimento automatizzato.

Funzioni e applicazioni

• Rivestimenti protettivi ultrassottili per componenti elettronici, dispositivi medicali e substrati per semiconduttori.
• Possibilità di depositi multistrato e co‑depositi (ibrido Parylene + ALD).
• Funzionamento a bassa temperatura adatto a substrati sensibili.

Documentazione
Documentazione tecnica e brochure di prodotto disponibili per il download dalla scheda prodotto (file PDF).

Caratteristiche / specifiche tecniche

• Serie: Sybilla.
• Modelli / sistemi citati: CX-30 / CX-300 / CX-600 (indicati come CX-30/300/600); CXC-20 (sistema ibrido Parylene - ALD).
• Tecnologia: deposito di parilene mediante CVD; soluzione ibrida Parylene + ALD.
• Moduli opzionali: modulo ALD, modulo PVD, trasferimento automatizzato tra i moduli.
• Temperatura di esercizio: bassa temperatura (adatta a substrati sensibili).
• Applicazioni target: elettronica, medicale, semiconduttori.