Macchina di deposizione per polverizzazione catodica a magnetron PVD
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Caratteristiche
- Specificazioni
- a magnetron
Descrizione
Presentazione
Aggiornamento per macchine PVD. Offriamo aggiornamenti hardware e software per la vostra macchina PVD. Aggiornamento completo: riscaldamento del porta-substrato, catodi magnetron, regolazione gas reattivi, termoregolazione della camera a vuoto e software.
Gamma / modelli interessati
HF e MW6
Aggiornamenti e interventi proposti
Caratteristiche / specifiche tecniche
Aggiornamento per macchine PVD. Offriamo aggiornamenti hardware e software per la vostra macchina PVD. Aggiornamento completo: riscaldamento del porta-substrato, catodi magnetron, regolazione gas reattivi, termoregolazione della camera a vuoto e software.
Gamma / modelli interessati
HF e MW6
Aggiornamenti e interventi proposti
- Riscaldamento del porta-substrato da 200 a 800 °C
- Aggiunta di otturatori, movimento del porta-substrato, misura di pressione e temperatura
- Termoregolazione dell'involucro a vuoto
- Ristrutturazione di catodi magnetron o sorgenti ad arco
- Regolazione dei gas reattivi tramite spettrometria ottica
Caratteristiche / specifiche tecniche
- Riscaldamento in grafite per macchine PVD a sputtering magnetron
- Catodi magnetron con otturatori per PVD per sputtering
- Coperchio rotante del porta-substrato
- Intervallo di temperatura del porta-substrato: 200 a 800 °C
- Misure integrate: pressione e temperatura
- Termoregolazione della camera a vuoto
- Ristrutturazione possibile: catodi magnetron o sorgenti ad arco
- Controllo dei gas reattivi tramite spettrometria ottica
Cataloghi
Round Magnetron Cathodes
2 Pagine
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Special-purpose machines
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.