Macchina per deposizione CVD di film sottiliad alta precisionein linea
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Caratteristiche
- Metodo
- CVD
- Tipo di deposito
- di film sottili
- Altre caratteristiche
- ad alta precisione, in linea, robotizzata
- Applicazioni
- per l'industria microelettronica
Descrizione
Presentazione
Sistema di deposizione di ossidi tramite CBVD per il trattamento di wafer da 2 a 18 pollici. Progettato per eseguire la crescita controllata di strati ossidati con monitoraggio in tempo reale e funzionamento completamente automatizzato. Compatibile con wafer fino a Ø450 mm.
Gamma
Gamma di macchine Sybilla.
Caratteristiche principali
Documentazione
Documentazione tecnica disponibile (file PDF specifico per la macchina Oxides).
Caratteristiche / specifiche tecniche
Sistema di deposizione di ossidi tramite CBVD per il trattamento di wafer da 2 a 18 pollici. Progettato per eseguire la crescita controllata di strati ossidati con monitoraggio in tempo reale e funzionamento completamente automatizzato. Compatibile con wafer fino a Ø450 mm.
Gamma
Gamma di macchine Sybilla.
Caratteristiche principali
- Tecnologia CBVD sviluppata con il nostro partner 3D Oxides
- Uniformità di deposizione su wafer fino a Ø450 mm
- Monitoraggio in tempo reale per mantenere le condizioni di crescita
- Processo completamente automatizzato
- Progettato per wafer da 2 a 18 pollici
- Immagini e visualizzazione del prodotto disponibili (fotografie della gamma Sybilla)
Documentazione
Documentazione tecnica disponibile (file PDF specifico per la macchina Oxides).
Caratteristiche / specifiche tecniche
- Tecnologia: CBVD (Chemical Beam Vapor Deposition)
- Partner tecnico: 3D Oxides
- Gamma wafer compatibili: 2 a 18 pollici
- Uniformità target: fino a Ø450 mm
- Controllo: monitoraggio in tempo reale dei parametri di crescita
- Automazione: processo completamente automatizzato
- Gamma: Sybilla
- Anno di riferimento: 2026 (sviluppo della gamma)
Cataloghi
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.