L'induzione del IWQ di ALD ha riscaldato i forni a camera del quarzo ha trovato molte applicazioni quando specializzati, i processi ad alta temperatura devono essere isolati dagli elementi riscaldanti. I materiali hanno riscaldato in una fornace di IWQ hanno un alto livello di purezza poiché non c'è interazione chimica fra la fonte di calore di induzione ed il materiale che sono elaborati. I sistemi di IWQ sono disponibili in una vasta gamma di dimensioni diametro del tubo del fino a 1 tester e il ‑ 2 misura la camera con un contatore trattata lunga. L'energia è accoppiata nel materiale di base via un susceptor o direttamente tramite portatore di carica. L'induzione ha riscaldato, forno a camera del quarzo può accomodare le atmosfere controllate quali la riduzione (idrogeno), l'ossidazione, il gas inerte ed il vuoto come pure proteggere dai vapori e dai prodotti chimici aggressivi alle temperature fino a 2000 °C. Le fornaci di IWQ inoltre offrono un alto livello di uniformità assiale e radiale della temperatura.
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