Piastra riscaldante di saldatura

in ceramicadi precisionerinfrescante

Le piastre in ceramica in nitruro di silicio possono essere prodotte con un diametro esterno di 400 mm. All'interno di questo diametro sono possibili forme rettangolari, forme personalizzate e aperture. L'altezza tipica delle piastre è di 5 mm e con un canale di raffreddamento integrato di circa 15 mm. Le proprietà speciali e la massa ridotta del materiale ceramico consentono velocità di riscaldamento, distribuzione uniforme della temperatura e un'eccezionale precisione di controllo. Rispetto al metallo, la superficie della ceramica rimane piatta grazie alla sua bassa espansione termica, anche quando si opera con rapidi cambiamenti di temperatura. L'elevata resistenza del nitruro di silicio pressato a caldo garantisce un'alta resistenza alle sollecitazioni (ad esempio con carichi di pressione elevati) e un'eccellente resistenza all'usura. Le piastre calde sono molto adatte per i processi più impegnativi nei sistemi di lavorazione dei semiconduttori. Design personalizzato I nostri progetti interni rendono semplice e conveniente qualsiasi modifica delle dimensioni, della configurazione o delle prestazioni. È possibile aggiungere al progetto fori per le staffe di montaggio e fori per i sensori di temperatura. È inoltre possibile aggiungere scanalature per il vuoto tagliate al laser. Le nostre piastre vengono fornite già rettificate, ma possono essere ulteriormente rettificate fino a una planarità di < 10 μm per soddisfare requisiti specifici. Inoltre, il nostro conduttore di riscaldamento in ceramica, con il suo design personalizzato, consente l'integrazione di diverse zone di riscaldamento. È possibile integrare facilmente dispositivi per compensare la perdita di calore e un cavo di prova interno per la misurazione della temperatura. Per il funzionamento in alto vuoto, fino a 1 000 °C, è possibile fornire un contatto a pin. In diversi progetti dei clienti abbiamo integrato una funzione di raffreddamento che può essere prodotta da un modulo di raffreddamento con canali integrati.