Macchina lucidatrice per metalli POLI-500

semiautomaticadi precisionea tavola rotante

POLI-500 è una piccola macchina per la lucidatura chimica meccanica da 8 pollici, che adotta il metodo di caricamento manuale, può essere dotata di un pallet di caricamento semiautomatico, utilizza un airbag a membrana per aumentare la pressione in modo flessibile e può essere dotata di un sistema di monitoraggio della forza di attrito e del punto finale della temperatura, utilizzato per la lucidatura di planarizzazione di ossidi, metalli, STI, SOI, MEMS e altri prodotti. Le applicazioni sono ampie. Funzioni complete La piastra di lucidatura è dotata di un sistema di raffreddamento incorporato, di un cassetto a braccio oscillante e di un sistema di monitoraggio dell'attrito e del punto finale di rilevamento della temperatura. Funzionamento semplice Sistema di controllo PC, controllo touch screen, pallet di carico semiautomatico opzionale, lucidatura CMP automatica con un solo pulsante. Buona compatibilità 3 condotte di alimentazione del liquame indipendenti, piastra di lucidatura facilmente sostituibile, testa di lucidatura sostituibile da 4, 6 e 8 pollici, compatibile con wafer di diverse dimensioni e tipi. Ingombro ridotto Riduce al minimo l'ingombro a pavimento della camera bianca.