COBRA DS 0600 E
Vite con design avanzato
Efficiente:
bassi costi di esercizio, manutenzione minima, tempi di attività elevati
Flessibile:
orientato all'applicazione
Tempi di processo brevi:
grazie alle elevate velocità di pompaggio
Design compatto
COBRA DS 0600 E è una pompa per vuoto a vite a secco della collaudata serie COBRA DS. Le loro elevate velocità di pompaggio, anche in condizioni in cui è richiesta un'elevata produzione di idrogeno, rendono le pompe per vuoto a vite COBRA DS ideali per tutti i processi impegnativi nella produzione di celle fotovoltaiche, pannelli piatti e semiconduttori. La tecnologia del vuoto a vite COBRA DS, all'avanguardia, consente di evacuare i fluidi carichi di polvere e particelle.
Le pompe per vuoto a vite a secco COBRA DS sono caratterizzate dalla compressione a secco, da un profilo della vite appositamente sviluppato e da uno scarico del gas senza ostacoli. Il risultato è un alto grado di tolleranza al vapore e alle particelle. Le viti sono prodotte da una fusione in un unico pezzo, evitando qualsiasi vuoto, rendendo impossibile l'ingresso di fluidi di processo o di particelle, e prevenendo così la corrosione.
Dotato di un motore ad alta efficienza, il COBRA DS 0600 E offre un'eccellente efficienza energetica. Con bassi requisiti di manutenzione, bassi costi di esercizio, un tempo di funzionamento molto elevato e un lungo ciclo di vita, il costo totale di proprietà è molto basso, stabilendo lo standard in questa classe di prestazioni.
L'adattamento di questa pompa per vuoto a vite ai sistemi esistenti può essere eseguito in modo semplice e veloce grazie al design "fit-in-place".
Applicazioni
Plasma ad alta densità CVD (HDP-CVD)
Elaborazione termica rapida (RTP)
CVD subatmosferico (SACVD)
CVD metallo-organico (MOCVD)
CVD al plasma (PECVD)
CVD a bassa pressione (LPCVD)
Deposizione dello strato atomico (ALD)
Blocco del carico ad alta capacità
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