La soluzione ideale per applicazioni per semiconduttori da leggere a medie
Prestazioni elevate
Design della vite avanzato, struttura a forma di campana, viti brevettate con bilanciamento automatico, eccellenti proprietà di funzionamento, particolarmente indicate per operazioni in compartimenti di carico e camere di trasferimento, metrologia, litografia, deposizione fisica in fase di vapore e ricottura termica rapida
Efficienza
Variatore di velocità intelligente, basso costo di proprietà, manutenzione minima, alta produttività, raffreddamento ad acqua diretto
Compattezza
Design perfettamente adattabile, motore a rotore immerso montato direttamente, pannello di controllo integrato