Sensore di gas NDIR Gasboard-2061

per misurazione di processiper monitoraggio della purificazione dei gas per semiconduttoriper controllo di processi

Panoramica
Il Gasboard-2061 è un sensore di gas NDIR progettato per la misura in tempo reale della concentrazione di WF6 e il rilevamento dell'endpoint (EPD) nelle camere di deposizione CVD al tungsteno (WCVD). Fornisce misure sensibili e ripetibili in condizioni di vuoto e di processo per consentire un'indicazione precisa dell'endpoint e ridurre il consumo di gas di pulizia.

Progettazione e integrazione
Compatto e modulare, il Gasboard-2061 è pensato per una facile installazione nelle linee di processo in vuoto. La costruzione in 316L e il percorso ottico sigillato lo rendono resistente ai gas corrosivi di processo. Supporta I/O analogici e digitali e comunicazione RS485 per calibrazione, registrazione dati e integrazione con i sistemi di controllo di processo.

Caratteristiche

• Tecnologia NDIR ottimizzata per la misura di WF6.
• Risposta rapida per il monitoraggio in tempo reale delle variazioni di concentrazione.
• Bassa deriva di zero e alta ripetibilità per misure coerenti.
• Design sigillato adatto ad ambienti sotto vuoto.
• Costruzione in 316L resistente alla corrosione per compatibilità con processi aggressivi.
• Uscite analogiche (0–5 V o 4–20 mA), ingresso analogico e I/O digitali per integrazione flessibile.

Specifiche (tabella)
Componente misurato: WF6
Intervallo: 0–200 mTorr
Ripetibilità: ±0,5%
Accuratezza: ±1% F.S.
Tensione di esercizio: 24 VDC
Corrente di esercizio: 1,5 A (max)
Uscita analogica: 0–5 VDC (4 ch) o 4–20 mA (4 ch)
Ingresso analogico: 0–10 VDC (1 ch)
Uscite digitali: 4 ch
Ingresso digitale: 1 ch
Comunicazione: RS485
Porta di campionamento: NW25
Tasso di perdita: ≤1 x 10-6 Pa·m3/s (He)
Temperatura ambiente di funzionamento: 20–35 ℃

Note sulle condizioni di misura
1. I dati sono misurati a pressione atmosferica standard.
2. I gas di calibrazione sono forniti da istituti di metrologia accreditati; gas diluiti in N2 secco (purezza ≥99,999%).
3. Le prestazioni sono determinate dopo calibrazione; ogni sensore è calibrato al 100% in produzione.
4. Le misure sono effettuate a 25 °C di temperatura ambiente.

Specifiche tecniche

• Modello: Gasboard-2061
• Gas misurato: WF6
• Intervallo: 0–200 mTorr
• Ripetibilità: ±0,5%
• Accuratezza: ±1% F.S.
• Alimentazione: 24 VDC
• Corrente max: 1,5 A
• Uscite analogiche: 0–5 VDC (4 ch) o 4–20 mA (4 ch)
• Ingresso analogico: 0–10 VDC (1 ch)
• Uscite digitali: 4 ch; Ingresso digitale: 1 ch
• Interfaccia di comunicazione: RS485
• Porta di campionamento: NW25
• Tasso di perdita (He): ≤1 x 10-6 Pa·m3/s
• Temperatura ambiente di funzionamento: 20–35 ℃
• Costruzione: materiali resistenti alla corrosione 316L; design sigillato adatto ad ambienti sotto vuoto