Piastra riscaldante in alluminio

di precisione

Utilizzando una tecnologia di riscaldamento allo stato dell'arte, Durex produce piastre di precisione fuse in forno specifiche per la lavorazione di wafer da 200 mm, 300 mm e 450 mm. I riscaldatori a piastre fuse in fusione di alluminio puro (99,7%) per garantire temperature massime di esercizio di 450°C (842°F) con il minimo rischio di contaminazione del processo. Il processo di fusione è controllato per eliminare qualsiasi difetto della superficie lavorata o del corpo di fusione che sarebbe causato dalla porosità. Un elemento riscaldante ad isolamento minerale è distribuito in tutta la colata per fornire un'uniformità di temperatura superficiale pari a ± 1% o superiore della temperatura di esercizio del processo. Una finitura anodizzata dura disponibile fornisce una barriera dielettrica resistente all'abrasione sulla superficie di lavoro del riscaldatore della piastra di cottura fusa.