Sistema completo comprendente il controllore a 3 canali E1100 e lo stadio di flessione XYZ della serie MDE125 Elliot Gold™ dotato di attuatori piezoelettrici che forniscono una corsa piezoelettrica di 100 µm con una risoluzione di 50 nm in ciascuno dei tre assi.
- 100 µm di corsa di regolazione piezoelettrica
- Risoluzione di 50 nm
- Scanalature di allineamento ortogonali
Controllore piezo E1100:
- Interfaccia USB
- Canali: 3 indipendenti
- Tensione di uscita: da 0 a 150 V
- Corrente di uscita: 50 mA/canale
- Rumore in uscita: < 50 µVRMS
- Lettura digitale su ciascun canale
- Controllo della tensione interna/esterna
- Controllo della tensione di ingresso esterna da 0 a 10 V
- Stabilità di uscita: <0,01% su 16 ore
- Requisiti di alimentazione:
100-230 Vca 50/60 Hz
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