Filtro a gas Wafergard® III NF-30

antiparticolatoa membranain linea

Filtri in-linea dal gas NF-30 di Wafergard® III Filtrazione polverizzata superiore per filtrazione del sistema di gas di ultrapure Il più pulito, la maggior parte dei filtri tutti di metallo efficienti disponibili La membrana brevettata del filtrante del nichel offre la resistenza della corrosione superiore e la compatibilità eccellente con i gas inerti e reattivi. (Non suggerito per uso con il CO, O3 ed i gas a basso livello del dopant dell'idruro.) Ideale per le applicazioni di dinamico-pressione e di temperatura elevata Usato tipicamente per i flussi fino a 30 SLPM Materiali: Elemento filtrante: Filtro da membrana brevettato e sinterizzato del nichel. Alloggiamento: Alloggiamento dell'acciaio inossidabile di Electropolished F20 Interiore superficie di finitura: Ra del μin <=5 Valutazione della perdita dell'elio: 2 `qualificato 10-10 atmosfera-cc/sec. Provato 1 `10-9 atmosfera-cc/sec. Pulizia a valle: Particles1: Meno di 0.03 particelle/litro (μm =0.003 Condizioni di gestione: Pressione di ingresso massima: 70 barra (1000 PSI) a 100°C Pressione differenziale massima inverso/di andata: 10 barra (150 PSID) Temperatura di funzionamento massima: Gas inerti 400°C 35 alla barra (500 PSI); Gas corrosivi e reattivi: 50°C 70 alla barra (1000 PSI)