Filtro a gas Wafergard® Max 1000
antiparticolatoa membranaa bassa pressione

Filtro a gas - Wafergard® Max 1000 - Entegris - antiparticolato / a membrana / a bassa pressione
Filtro a gas - Wafergard® Max 1000 - Entegris - antiparticolato / a membrana / a bassa pressione
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Caratteristiche

Prodotto filtrato
a gas, antiparticolato
Costruzione
a membrana
Applicazioni
a bassa pressione
Materiale
PTFE
Altre caratteristiche
idrofobo, in linea
Pressione di funzionamento

Min.: 2,5 bar
(36,259 psi)

Max.: 9,8 bar
(142,137 psi)

Grado di filtrazione

Min.: 0,01 µm

Max.: 0,03 µm

Descrizione

Wafergard® Max 1000 Filtro gas in linea in Teflon® Teflon Filtrazione del particolato superiore per applicazioni con gas ultrapuri - Membrana PTFE Ampia area di filtrazione - filtrazione 3 volte maggiore, basse perdite di carico e flusso elevato Stesse dimensioni di lunghezza dell'attuale generazione di filtri, eliminando le modifiche progettuali del pannello gas o del sistema di erogazione Maggiore durata del filtro - 3 volte superiore rispetto alla generazione precedente e costi di gestione ridotti (COO) Materiali: Membrana idrofobica in PTFE supportata da strutture in Teflon® PFA stampate L'alloggio: Acciaio inossidabile 316L O-ring: Fluoroelastomero incapsulato (E-FKM) Finitura superficiale interna: ≥25 µin Ra Valutazione di rimozione: ≥99,999999999% rimozione di particelle di ≥0,003 µm nel gas Pulizia a valle: < 0,03 particelle/litro ( 0,01 µm Condizioni operative massime: Pressione massima di ingresso: 9,8 bar (142 PSIG) Massima pressione differenziale in avanti: 3,9 bar (57 PSID) Massima pressione differenziale inverso: 2,5 bar (36 PSID) Temperatura massima di esercizio: 120°C (248°F) Capacità di perdita di elio: 1 x 10 (-10) Pa.m³/sec Garanzia: 1 anno

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