Filtro a gas Wafergard® II SF

antiparticolatoa membranaad alte prestazioni

Mini XL filtri in-linea dal gas di Wafergard® II SF Filtrazione polverizzata superiore per filtrazione del sistema di gas di ultrapure La membrana brevettata dell'acciaio inossidabile fornisce la filtrazione high-efficiency Ideale per le applicazioni di dinamico-pressione e di temperatura elevata Compatibilità eccellente con la maggior parte dei gas di processo a semiconduttore di ultrapure Per uso con i gas inerti e reattivi Uso tipico fino a 60 SLPM Materiali: Elemento filtrante: Filtro da membrana brevettato dell'acciaio inossidabile Alloggiamento: Acciaio inossidabile di Electropolished 316L Interiore superficie di finitura: Ra del μin <=5 Valutazione della perdita dell'elio: 2 `qualificato 10-10 atmosfera-cc/sec. Provato 1 `10-9 atmosfera-cc/sec. Pulizia a valle: Particelle: Meno di 0.03 particelle/litro (particella <1/pi3) più maggior di 0.01 μm Composti volatili: μm =0.003 Condizioni di gestione: Pressione di ingresso massima: 165 barra (2357 PSI) a 20°C Pressione differenziale massima inverso/di andata: 140 barra (PSID 2000) Temperatura di funzionamento massima: 460°C 35 alla barra (500 PSI)