Sistema di monitoraggio dei gas per ispezione di semiconduttori D-ReX PoS²

per uso industrialeper il monitoraggio dei processiper rilevamento

Overview
Il D-ReX PoS² è un sistema compatto di rilevamento gas progettato per ambienti di produzione di semiconduttori. Integra una pompa interna che preleva il campione al punto di campionamento (PoS) da distanze fino a ~30 m e supporta il montaggio a parete o su guida DIN. Le opzioni di connettività includono Power over Ethernet (PoE), 4–20 mA e Modbus (RS-485).

USPs

• Manutenzione senza utensili: il pannello frontale si apre senza attrezzi per un rapido accesso alla cartuccia sensore e al meccanismo della pompa.
• Prelievo remoto: pompa integrata con capacità di linea di campionamento per spazi ristretti e punti di prelievo distribuiti.
• Integrazione flessibile: PoE, 4–20 mA e Modbus (RS-485) per collegamento semplice ai sistemi di controllo superiori.

Features

• Monitoraggio integrità linea opzionale
• Display colore 2,4" TFT per identificazione gas, concentrazione e stato dispositivo
• Tre relè interni commutabili unipolari, programmabili liberamente
• Comunicazione: Ethernet (PoE), 4–20 mA, Modbus (RS-485)

Designed for semiconductor fabs
Il dispositivo supporta il campionamento da tubazioni, sistemi di distribuzione gas, aree di stoccaggio, scrubber e camere bianche. Per gas che richiedono pirolisi è disponibile il modulo opzionale Py‑ReX. Le cartucce sensore sono preconfigurate e sostituibili; il cassettino sensore e l'elettronica della pompa vengono riutilizzati durante la sostituzione delle parti usurate.

Information & operation
Il display da 2,4" mostra identità del gas, concentrazione misurata, stato del dispositivo e guasti in testo chiaro. Tre relè interni possono essere programmati per attivare allarmi esterni o azioni di sicurezza. Il funzionamento in rete è supportato tramite LAN PoE (10/100 Mbit/s) e Modbus (RS-485); l'uscita analogica è fornita tramite 4–20 mA.

Detectable semiconductor process gases (typical)
Ammoniaca (NH3), Cloruro di idrogeno (HCl), Fluoruro di idrogeno (HF), Idrogeno (H2), Silano (SiH4), Diclorosilano (DCS), Arsina (AsH3), Fosfina (PH3), Diborano (B2H6), Seleniuro di idrogeno (H2Se), Germanano (GeH4), Trifluoruro di cloro (ClF3), Fluoro (F2), Ozono (O3), Bromuro di idrogeno (HBr), Cianuro di idrogeno (HCN), Esametildisilazano (HMDS), Tetraetil ortosilicato (TEOS).

Technical specifications

• Model: D-ReX PoS²
• Sampling: pompa integrata con capacità linea di campionamento (fino a ~30 m)
• Installation: montaggio a parete o su guida DIN
• Service: accesso frontale senza attrezzi; sostituzione senza attrezzi della cartuccia sensore e del meccanismo pompa
• Sensor supported: elettrochimici, catalitici, a infrarossi, PID (cartucce sensore preconfigurate)
• Display: 2,4" colore (TFT)
• Relays: tre relè interni programmabili (commutazione unipolare)
• Analog output: 4–20 mA
• Digital communication: Modbus (RS-485)
• Network / Power: Power over Ethernet (PoE), Ethernet 10/100 Mbit/s
• Optional: modulo Py‑ReX pirolizzatore; monitoraggio integrità linea opzionale