Spalmatrice multistrato

automaticaper applicazioni fotovoltaiche

È adatto ai settori dei semiconduttori e del fotovoltaico. Per le celle del processo TOPCon nel settore fotovoltaico, l'apparecchiatura LPCVD può completare la preparazione dello strato di ossido tunnel/strato di poli in un'unica fase. La combinazione di ossigeno termico e deposizione di strato polimerico può aumentare notevolmente la capacità produttiva, pur essendo compatibile con il processo di crescita i/d-Poly. Caratteristiche principali Processo maturo ad alta capacità, tecnologia di controllo della temperatura a doppia modalità, tecnologia di protezione del calibro del film; Con una varietà di tecnologie di rivestimento: film composito multistrato, tecnologia del polisilicio drogato; Corpo del forno a raffreddamento rapido brevettato: La più recente tecnologia brevettata fa sì che la temperatura del corpo del forno scenda rapidamente alla temperatura richiesta e la velocità di raffreddamento può essere aumentata di oltre il 25%, migliorando ovviamente l'uniformità della temperatura nel tubo del forno; Tecnologia di controllo ad anello chiuso a pressione adattativa veloce; Sistema MES/CCRM con architettura completa e prestazioni eccezionali; Computer industriale integrato + software di controllo del processo modulare; Trattamento completo di sicurezza contro l'interruzione di corrente e protezione anomala dell'acqua della flangia.