Spettrometro di massa HALO 201 MBE

di processodi monitoraggioper l'analisi di gas

Un sistema di analisi dei gas per applicazioni di epitassia a fascio molecolare I sistemi Hiden HALO sono progettati per applicazioni di RGA, analisi dei gas e monitoraggio dei processi, tra cui il rilevamento delle perdite, l'analisi delle tendenze e il rilevamento del vuoto. Produzione di semiconduttori Celle a combustibile L'analizzatore specifico per MBE è costruito con materiali compatibili e progettato per l'uso prolungato in ambienti MBE e comprende, come standard, cablaggi in molibdeno al posto del rame e una copertura della sorgente ionica resistente alla contaminazione. Cablaggio in molibdeno al posto di quello in rame per migliorare la durata del sistema RGA in ambienti MBE Coperchio della sorgente ionica resistente alla contaminazione Doppio moltiplicatore di elettroni Faraday/piatto a canali Pressione parziale minima rilevabile a 2 x 10-13 mbar Opzione estensore termico per il funzionamento di RGA durante il bakeout