Analizzatore a sensore unico Semion

per reattore a plasmadi processoa campo ritardante

Il Semion Single Sensor è un analizzatore di energia da campo ritardante (RFEA). Si trova in qualsiasi punto all'interno di un reattore al plasma e misura l'energia degli ioni che colpiscono una superficie utilizzando un unico sensore di misura. Questo analizzatore di campo ritardante (RFA) è una diagnostica al plasma fondamentale per misurare la funzione di distribuzione dell'energia ionica e misura anche il flusso ionico, gli ioni negativi, la temperatura e la tensione di polarizzazione (Vdc). Il sistema Semion consente il monitoraggio del processo in situ, la conferma dei modelli, lo sviluppo di nuovi processi e le applicazioni di ricerca in tempo reale presso il sito del substrato. Il Semion, a volte chiamato analizzatore di potenziale ritardante, misura l'energia ionica e produce la funzione di distribuzione dell'energia ionica (IEDF), il flusso ionico, gli ioni negativi, la temperatura e il Vdc nella posizione del substrato all'interno di un reattore al plasma. L'analizzatore di energia da campo a ritardo di Semion (RFEA) è ampiamente utilizzato in molti settori dell'industria e della ricerca, come l'incisione al plasma, rivestimenti, plasma sputtering, PECVD e fascio ionico. Il Semion Single Sensor è uno strumento diagnostico al plasma chiave che può confermare i modelli, aiutare lo sviluppo di nuovi processi e gli esperimenti che utilizzano il plasma, la progettazione di utensili al plasma e la ricerca sul plasma. L'analizzatore di energia da campo Semion Single Sensor retarding field consiste in un sensore a pulsante sostituibile montato in un supporto sensore che si collega ad un passante per il vuoto alimentato da un'unità elettronica montata su rack 19".