Strumento di caratterizzazione multisensori Vertex

plasmadi distribuzione di energia ionica

Il Vertex Multi Sensor misura la distribuzione dell'energia ionica in funzione del rapporto di aspetto che colpisce una superficie all'interno di un reattore al plasma da più punti per analizzare l'uniformità delle interazioni ioniche su un substrato. L'uniformità dell'energia ionica, del flusso ionico e della tensione di polarizzazione viene misurata anche da più punti. L'angolo di ioni che colpisce il fondo di un elemento può essere determinato dalla distribuzione dell'energia ionica in funzione del rapporto di aspetto che può essere misurato su un substrato per monitorare l'uniformità e quindi la qualità del profilo di incisione da un lato del substrato all'altro. Il Vertex Multi Sensor misura l'uniformità della distribuzione dell'energia ionica in funzione del rapporto di aspetto. L'uniformità dell'energia ionica, l'uniformità del flusso ionico, l'uniformità ionica negativa e la tensione di polarizzazione su una superficie all'interno di un plasma. Il Vertex Multi Sensor è sempre più utilizzato in molte applicazioni nell'industria e nella ricerca dove il profilo delle caratteristiche è di interesse, come l'incisione al plasma per substrati più grandi, fasci ionici e sputtering al plasma. Il Vertex Multi Sensor aiuta gli utenti a confermare i modelli, sviluppare nuovi processi ed esperimenti che utilizzano il plasma e richiedono un processo uniforme, la progettazione di utensili al plasma, la caratterizzazione del plasma e la ricerca. Il Vertex Multi Sensor è alloggiato in un'unità elettronica da 19" montata su rack, un passante per il vuoto e un supporto per sensori situato ovunque all'interno di una camera al plasma o a fascio. La posizione può anche essere un elettrodo alimentato a RF o DC e può utilizzare un sensore sostituibile con sonda a bottone. L'unità elettronica si collega a un computer portatile o a un PC e utilizza la suite software intelligente Vertex.