Resistenza riscaldante per forno a diffusione

in siliconein ceramicain poliimmide

Le cassette con filo fine sono composte da resistenze in forma sinusoidale o spirali. Per filo fine si intende all'uso di fili di diametro inferiore nella costruzione delle cassette. Questa configurazione è fondamentale per garantire precisione nei controlli e nei tempi di risposta del processo di diffusione. Applicazioni LPCVD e applicazioni a bassa temperatura: utilizzato quando è richiesto un controllo preciso alle basse temperature. Applicazioni come LPCVD; polisilicio, nitruro e ossidazione a bassa temperatura. Atmosferico; ricottura H2, indurimento della poliimmide. Applicazioni con risposta rapida alla temperatura: ideale per processi che richiedono rapide variazioni di temperatura. Applicazioni di raffreddamento veloce: efficiente nelle applicazioni che richiedono un raffreddamento rapido. Applicazioni LPCVD e applicazioni a bassa temperatura: utilizzato quando è richiesto un controllo preciso alle basse temperature. Applicazioni come LPCVD; polisilicio, nitruro e ossidazione a bassa temperatura. Atmosferico; ricottura H2, indurimento della poliimmide. Applicazioni con risposta rapida alla temperatura: ideale per processi che richiedono rapide variazioni di temperatura. Un tipico riscaldatore a massa ridotta è costituito da: Forma in ceramica a semiguscio con filo annegato, grecato o spiralato. Forma in ceramica rivestita con fibra isolante asciutta per un valore di isolamento specifico e una compressione bilanciata. Isolatori di fine camera calda in ceramica formata sottovuoto e lavorati . Varietà di morsetti di posizione per termocoppie. Passanti ceramici per i terminali di alimentazione Blocchi di alimentazione su collegamenti esterni.