Sistema di misurazione di spessore Aleris® series

spettroscopicoper film

Sistemi di metrologia cinematografica I sistemi metrologici a film Aleris® forniscono una misurazione affidabile e precisa dello spessore del film, dell'indice di rifrazione, della sollecitazione e della composizione per il nodo a 32 nm e oltre. Utilizzando la tecnologia dell'ellissometria spettroscopica a banda larga (BBSE), i sistemi di metrologia a film Aleris formano una soluzione completa per la misurazione dello spessore del film e la metrologia, aiutando i fabs a qualificare e monitorare un'ampia gamma di strati di film. Aleris 8330 Il sistema metrologico a film Aleris 8330 è una soluzione a basso costo di proprietà per film non critici, compresi dielettrici inter-metallici, fotoresistenti, rivestimenti antiriflesso sul fondo, ossidi e nitruri spessi e strati di back end di linea. Aleris 8350 L'Aleris 8350 è un sistema metrologico per pellicole ad alte prestazioni che soddisfa le più strette tolleranze di processo richieste per le misure di spessore, indice di rifrazione e stress su pellicole critiche. Il sistema di misurazione dello spessore del film Aleris 8350 è utilizzato per lo sviluppo avanzato di film, la caratterizzazione e il controllo di processo per un'ampia gamma di film critici, inclusi strati di diffusione ultrasottili, ossidi di gate ultrasottili, fotoresistenze avanzate, strati ARC da 193 nm, pile ultrasottili multistrato e strati CVD. Aleris 8510 L'Aleris 8510 estende la capacità della famiglia Aleris di misurare lo spessore del film, la composizione e la capacità di misurare le sollecitazioni agli strati di processo avanzati di processo di nitridazione al plasma disaccoppiato ultra-sottile (DPN) e di alta k metal gate (HKMG). Utilizzando la tecnologia di ellissometria spettroscopica a banda larga a 150 nm potenziata, il sistema di misura dello spessore del film Aleris 8510 fornisce agli ingegneri i dati di metrologia del film necessari per lo sviluppo e il monitoraggio in linea degli strati DPN e di tutti gli strati HKMG - dal gate fino al gate