Sistema di misurazione ottico Therma-Probe® 680XP
Aggiungi ai preferiti
Confronta con altri prodotti
Caratteristiche
- Tecnologia
- ottico
Descrizione
Sistemi di metrologia implantare
Il sistema metrologico Therma-Probe® 680XP per impianti ionici e ricottura consente il monitoraggio in linea della dose per i nodi di progettazione 2Xnm/1Xnm. Il Therma-Probe 680XP produce informazioni di processo critiche sulla dose e sul profilo dell'impianto ionico, sull'uniformità dell'impianto e della ricottura e sui danni di fine gamma. Inoltre, le mappe di micro-uniformità ad alta risoluzione del sistema Therma-Probe 680XP forniscono una capacità di fingerprinting per lo sviluppo dei processi di impianto e ricottura.
Applicazioni
Monitoraggio del processo, monitoraggio degli utensili
---
Cataloghi
Nessun catalogo è disponibile per questo prodotto.
Vedi tutti i cataloghi di KLA Corporation
Ricerche correlate
- Macchina per test
- Macchina di misura
- Macchina per test di tensione
- Macchina di misura ottica
- Macchina di misura automatica
- Macchina di misura di alta precisione
- Macchina di misura per controllo
- Macchina per prova di trazione-compressione
- Macchina per test manuale
- Macchina di misura dimensionale
- Profilometro industriale
- Macchina di misura 3D
- Sistema di misurazione di spessore
- Sistema di misurazione per dispositivi elettronici
- Macchina di misura di forma
- Macchina per test per alte temperature
- Sistema di misurazione di temperatura
- Profilometro ottico
- Profilometro 3D
- Macchina di misura per wafer
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.