Il sistema di ispezione dei difetti del grezzo di maschera FlashScan® 211 supporta i negozi di maschere e i produttori di grezzi nel soddisfare i requisiti di difettosità del grezzo di maschera per applicazioni di litografia ottica e EUV. Il sistema FlashScan 211 abbina la sua elevata sensibilità a una velocità di ispezione senza pari e alla disposizione automatica dei difetti, riducendo il tempo necessario per ottenere risultati in un'ampia gamma di applicazioni.
Applicazioni
Produzione di maschere grezze, Qualificazione di maschere grezze, Controllo del processo di reticolo, Monitoraggio delle apparecchiature del processo di reticolo
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