Sistema di ispezione ottico FlashScan®

automaticoper rilevamento di difettiper l'industria elettronica

Sistemi di ispezione dei difetti del rettilineo vuoto Il sistema di ispezione dei difetti del grezzo della maschera FlashScan® 211 supporta i negozi di maschere e i produttori di grezzi nel soddisfare i requisiti di difettosità del grezzo della maschera per applicazioni di litografia ottica e EUV. Il sistema FlashScan 211 abbina la sua elevata sensibilità a una velocità di ispezione senza pari e alla disposizione automatica dei difetti, riducendo i tempi di ottenimento dei risultati per un'ampia gamma di applicazioni. Applicazioni Produzione di maschere grezze, Qualificazione di maschere grezze, Controllo del processo di reticolo, Monitoraggio delle apparecchiature del processo di reticolo