- Movimento ultra-dinamico
- Precisione di posizionamento imbattibile
- Elevata rigidità del sistema
- Minime emissioni di particelle
Il sistema di motori lineari ad alta velocità è stato sviluppato per essere utilizzato come asse di alimentazione in una macchina per la produzione di semiconduttori, per ottenere una produttività e un'affidabilità di processo superiori.
Oltre ai consueti requisiti del cliente, come la massa mobile, le corse, la definizione dei cicli e così via, è stato necessario prendere in considerazione altre proprietà. Queste includono, ad esempio:
- Design estremamente compatto
- Qualità di sincronizzazione imbattibile (cogging)
- Nessuna necessità di manutenzione
- Rapida messa in servizio
- Feedback di posizione assoluto
- Gestione dei cavi per cavi personalizzati
Il sistema di motori lineari ad alta velocità è stato sviluppato appositamente per applicazioni con elevata precisione di posizionamento. Offre la possibilità di utilizzare uno schema di foratura della slitta e della piastra di base personalizzato per soddisfare le esigenze individuali. Inoltre, il sistema è stato progettato in una versione compatibile con le camere bianche per consentire l'uso in ambienti sensibili. Per facilitare la messa in funzione iniziale, viene fornito un set di parametri che consente una messa in funzione rapida ed efficiente.
- Gestione dei wafer
- Gestione dei substrati
- E-mobilità
- Tecnologia medica
- Trattamento laser
- Manipolazione di lenti ottiche
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