Gli interferometri TOPOS funzionano secondo il principio dell'incidenza della luce al pascolo. È possibile misurare la planarità anche di parti più ruvide, che non mostrano più pattern di frange con gli interferometri Fizeau o gli interferometri ottici piatti. Sulla base del modello di interferenza, un computer calcola la planarità dell'oggetto in prova. Accanto alle parti lappate o rettificate si possono misurare anche le parti lucidate. Le parti possono essere costituite da materiali diversi:
- metallo (acciaio, alluminio, bronzo, bronzo, rame, ecc.)
- ceramica (AL2O3, SiC, SiN, SiN, ecc.)
- materiale plastico
- ecc.
Gli interferometri possono essere posizionati nella linea di produzione, vicino alla macchina di lavorazione. La precisione assoluta è fino a 0,1 µm su tutta l'area di misura.
Il TOPOS 50 è uno strumento di misura della planarità senza contatto per la produzione di precisione
superfici con una precisione inferiore al micron.
Gli strumenti di misura della planarità TOPOS soddisfano i requisiti di strumenti di misura oggettivi per la produzione e il controllo qualità di componenti sofisticati, come quelli utilizzati, ad esempio nell'iniezione di carburante
sistemi, pompe o valvole.
Gli interferometri TOPOS consentono la misura della planarità senza contatto di lappati,
la manipolazione, in particolare quando si trovano nell'ambiente di produzione. i risultati sono quindi comparabili e quantificabili.
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