ricottura, polimerizzazione, essiccazione, rivestimento superficiale
Modifica della superficie del wafer in atmosfera di gas protettivo
Altre possibili applicazioni sono:
Processi di rivestimento nell'industria elettronica e dei semiconduttori
SPECIFICHE DI PRODOTTO
Le caratteristiche più importanti:
riscaldamento elettrico a 2 zone
Camera bianca classe 100
Misura dell'ossigeno residuo
Raffreddamento rapido
Camera in acciaio inox (1.4301), elettrolucidata
Dispositivo di alimentazione del gas (Ar, N2)
Riscaldato da un elemento riscaldante tubolare
Potenza di riscaldamento circa... 5 kW
Precisione della temperatura +/-3k
Circolazione del gas
Noi lo rendiamo possibile:
Linn High Therm è specializzata nell'adattare i propri prodotti alle esigenze dei clienti. Fateci sapere se avete bisogno di modifiche. Faremo di tutto per soddisfare i vostri desideri.
Possibili opzioni standardizzate
Sistemi di controllo diversi
Raffreddamento di emergenza ad acqua
Software di guida del processo
Raffreddatore a circolazione
Dispositivo di spegnimento con supervisione della fiamma
Pacchetto di sicurezza
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