Macchina lucidatrice di materie plastiche dure CMP-Orbis

di precisione

Il sistema CMP Orbis di Logitech è uno strumento CMP di precisione, da pavimento, ideale per gli ambienti di ricerca e sviluppo. In genere il sistema Orbis CMP viene utilizzato in applicazioni che conducono test di produzione pilota con capacità analitiche ottimali e prestazioni di lavorazione migliorate. Le capacità del sistema possono essere adattate per includere: Produzione di circuiti integrati back-end, Fabbricazione di sistemi microelettromeccanici (MEMS), Opto-MEMS Fabbricazione di Bio-MEMS. Soluzione a basso costo - risultati di alto valore La capacità di condurre test di processo pilota normalmente richiede sistemi costosi a livello di produzione, ma Orbis raggiunge questa capacità in un sistema conveniente. Incorporando caratteristiche avanzate e funzionalità ad alta tecnologia, il sistema CMP Orbis raggiunge capacità di lavorazione superiori a quelle solitamente offerte da un sistema di queste dimensioni. Utilizzo flessibile del funzionamento Oltre alla capacità di riprodurre ambienti di produzione, Orbis è adatto anche a un uso più tradizionale di ricerca e sviluppo. Ciò include la produzione di piccoli lotti e i test di produzione pilota. Il sistema è in grado di elaborare tutti i wafer, i wafer e le parti di wafer con diametro fino a 200 mm (8″) utilizzando un supporto dedicato. Come per le precedenti apparecchiature CMP di Logitech, è possibile utilizzare sagome e spessori oppure montare i campioni direttamente sui portacampioni. Caratteristiche principali Ideale per ambienti di ricerca e sviluppo e per test di processo pilota Spazio di lavoro ad alta capacità per campioni fino a 2 di 200 mm (8″) Dati scaricabili per l'analisi dei parametri di processo Ingombro su scala di laboratorio Condizionamento del tampone standard del settore per mantenere una durata ottimale del tampone