Sistema di pulizia al plasma SWC4000

automaticoper l'industria dei semiconduttori

L'SWC4000 di Logitech è un sistema stand-alone per la pulizia di wafer e maschere utilizzati nell'industria dei MEMS e dei semiconduttori. Il sistema SWC4000 offre capacità di erogazione chimica controllata, consentendo una migliore rimozione delle particelle dalla superficie del campione. L'utilizzo della funzionalità di erogazione di sostanze chimiche insieme alla tecnologia di pulizia megasonica consente una pulizia altamente ottimizzata. Le particelle rilasciate vengono rimosse dalla superficie del substrato spazzando via le particelle con il flusso radiale dell'acqua deionizzata. Senza questa funzione, le vasche di pulizia stazionarie consentono un maggior numero di riattacchi di particelle, che richiedono quindi un tempo di pulizia maggiore per essere rimosse. Il sistema SWC4000 è in grado di effettuare l'essiccazione in centrifuga con N2 o IPA riscaldati. è possibile eseguire il processo "Dry-In-Dry-Out" in un'unica fase, con il più basso investimento di capitale e costo di proprietà. Il tempo di processo dei sistemi SWC può variare da 3 a 5 minuti per substrato, a seconda delle dimensioni e delle opzioni di pulizia utilizzate. Il sistema SWC4000 ha un ingombro ridotto, che lo rende la soluzione ideale per qualsiasi camera bianca con spazio limitato che desideri capacità di pulizia superiori su una varietà di substrati. Caratteristiche principali Progettato per la pulizia di wafer singoli fino a 300 mm/12″ Ideale per la pulizia di wafer di germanio (Ge), galluim arsendie (GaAs) e fosfuro di indio (InP), con o senza motivo Soluzione perfetta per la pulizia post CMP, per la pulizia di chip tagliati a cubetti su un telaio di wafer, per la pulizia dopo l'incisione al plasma o lo stripping di fotoresist, per la pulizia di maschere grezze o di contatto e per la pulizia di lenti ottiche