Alta velocità e alta risoluzione, pur mantenendo una misura stabile e ultraprecisa. Ideale per stadi di precisione, sistemi di ispezione/produzione di semiconduttori e macchine di lavorazione di ultraprecisione.
Scala ad alta risoluzione con passo del segnale di circa 138 nm, superiore ai sistemi interferometrici a onde luminose
Elevata stabilità, non influenzata da umidità, pressione atmosferica e disturbi dell'aria
Precisione del punto di riferimento: ±0,1µm
Il design senza contatto elimina l'errore di ritorno.
Lunghezza di misura: 9 tipi (-R/-RS)
Lunghezza di misura: 10 tipi (-N/-NS)
Sono disponibili modelli speciali non magnetici e compatibili con il vuoto
Utilizzo di vetro a bassa espansione: -0,7 x10-6 °C (lunghezza di misura: da 10 a 420 mm)
Risoluzione: 2,1 pm
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