Scala laser riflettente ad alta precisione con passo del segnale di 250 nm. Ideale per stadi a basso profilo, apparecchiature di lavorazione back-end dei semiconduttori e microscopi di precisione
Passo del segnale: 250 nm
Alta precisione: ±1 µm / 420 mm
Alta velocità di risposta: 1.800 mm/s
Risoluzione massima: 3,8 pm
Disponibile: con/senza punto di riferimento
Design completamente privo di contatto: L'errore di ritorno è teoricamente eliminato.
Scala: vetro ZERO / vetro privo di alcali
Testa sottile con spessore di 12 mm
Supporto di varie risoluzioni e modalità di uscita (a seconda di un interpolatore come BD96 o BD700)
Disponibili modelli speciali compatibili con il vuoto
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