per condizioni di alto vuoto fino a 10^(-6) mbar
ingombro 25 x 35 mm
Posizionatori xyz miniaturizzati con azionamento piezoelettrico inerziale. Edizione per il vuoto dell'MX 25.
Dati tecnici
Larghezza - 35 mm
Altezza - 18,5 mm
Profondità - 25 mm
Carico massimo Carico (3 assi)
Mx, My, Mz (slancio) - 1,5 Ncm
Forze di blocco (Fx, Fy, Fz) - 2 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 20 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 60 secondi d'arco
Deviazione verticale - 2 um
Deviazione laterale - 2 um
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