per i termini di vuoto ultraelevato fino a 10^ (- 9) mbar
un viaggio di 3,5 millimetri nella direzione di x, di y e di z
un'orma di 15 x 15 millimetri
Fasi miniatura ultra piccole di traduzione con azionamento inerziale eclettico piezo-elettrico. Edizione di UHV di MS15.
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