per il funzionamento ad anello chiuso (risoluzione fino a 50nm)
combinazioni multiasse senza piastre di adattamento
Stadio di traslazione in miniatura con azionamento piezoelettrico inerziale con sistema di misura.
Dati tecnici
Larghezza - 52 mm
Altezza - 12,5 mm
Profondità - 30 mm
Carico massimo
Momento (Mx) - 5 Ncm
Momento (My) - 5 Ncm
Momento (Mz) - 5 Ncm
Forza di blocco (Fx) - 4,5 N
Forza portante (Fy, Fz) - 30 N
Precisione di guida
Angolo di imbardata - 170 secondi d'arco
Angolo di beccheggio - 160 secondi d'arco
Deviazione verticale - 3 um
Deviazione laterale - 3 um
Informazioni sulla misurazione
Segno di riferimento - centrale
Risoluzione - da 1um a 50 nm
Tensione di alimentazione - 5 V
Consumo di energia - 150 mA
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