Piastra di posizionamento di traslazione NDS70piezoelettricain ciclo chiusoin miniatura
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Caratteristiche
- Orientazione
- di traslazione
- Tipo
- piezoelettrico
- Altre caratteristiche
- in ciclo chiuso, in miniatura
Descrizione
un viaggio di 15 millimetri ad un'orma di 70 x 70 millimetri
per il circuito chiuso (risoluzione di fino a 50 nanometro)
per il sistema della NOVA
Fasi miniatura di traduzione con azionamento inerziale elettrico piezo-elettrico per il sistema della NOVA. Edizione standard
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