Sistema di movimentazione telecomandato NWL200

automatizzatocontrollabile tramite PCa comando elettrico

Panoramica
La famiglia NWL200 fornisce trasferimento e gestione automatizzata di wafer da 6" (150 mm) e 8" (200 mm), con opzione per wafer ultra‑sottili fino a 100 µm. Progettata per integrazione con microscopi ottici e sistemi di misura video, la serie è pensata per alto throughput e movimentazione sicura nelle linee di ispezione in produzione.

Compatibilità e capacità generali

• Supporta diametri wafer 6" (150 mm) e 8" (200 mm).
• Si integra con i microscopi Nikon Eclipse L200N, LV150N e i sistemi NEXIV VMZ‑S.
• Gestione standard di wafer da 300 µm e 200 µm; chuck opzionale per wafer ultra‑sottili da 100 µm.

Capacità chiave e movimentazione

• Sistema multi‑braccio per carico/scarico rapido e preciso.
• Elevatore rapido per cassette con centraggio non a contatto per un allineamento accurato.
• Supporto ispezione macro: pattern lato anteriore, periferia posteriore e area centrale.
• Velocità di rotazione e angolo di inclinazione programmabili (auto/manuale) per diverse attività di ispezione.
• Il chuck a vuoto del braccio macro mantiene la presa in caso di interruzione di alimentazione per permettere il recupero sicuro del wafer.

Progettazione per sala bianca e anti‑contaminazione
Il flusso d'aria continuo nelle aree di bloccaggio e centraggio riduce la generazione di particelle. Il coperchio in acciaio inossidabile limita l'accumulo elettrostatico, a supporto dei requisiti di sala bianca.

Sicurezza e rilevamento wafer

• Fasci e sensori rilevano wafer sottili deformati e interrompono la raccolta per prevenire collisioni.
• Logiche di evitamento collisioni riducono il rischio di danni durante i trasferimenti.

Usabilità ed ergonomia

• Pannello frontale orientato all'operatore: selezione wafer con un singolo pulsante, ampio LCD e menu strutturato per gestione ricette.
• Posizionamento di carico e cambio cassette inclinato di 35° a sinistra per accesso ergonomico e maggiore efficienza operativa.

Operazioni remote e supporto

• Lo strumento Remote Access Web Server consente connessione LAN via browser per creare, modificare e salvare le ricette di ispezione.
• Scrittura e backup remoto delle ricette aiutano a mantenere continuità delle ispezioni e ottimizzare il flusso produttivo.

Specifiche tecniche

• Diametri supportati: 6" (150 mm) e 8" (200 mm).
• Spessori gestiti: standard 300 µm e 200 µm; chuck opzionale 100 µm ultra‑sottile.
• Sistemi compatibili: Nikon Eclipse L200N, LV150N; NEXIV VMZ‑S.
• Carico/scarico: trasferimento multi‑braccio, elevatore rapido cassette, centraggio non a contatto.
• Modalità di ispezione: pattern lato anteriore, periferia posteriore, area centrale; rotazione e inclinazione regolabili (auto/manuale).
• Controllo contaminazione: flusso d'aria continuo; coperchio in acciaio inox per riduzione carica elettrostatica.
• Sicurezza: rilevamento wafer per evitare collisioni; chuck a vuoto mantiene la presa in caso di interruzione alimentazione.
• Interfaccia operatore: selezione con pulsante, ampio LCD, gestione ricette; accesso web remoto per gestione e backup delle ricette.