Macchina di ispezione ottica ARTION

3Dper waferper semiconduttore

Linee di prodotto
Xceed MICRO │ AXION │ PRECION │ ARTION

Panoramica
Sistema di ispezione ottica automatica 2D e 3D ad ultra-precisione progettato per l'ispezione a livello wafer. Fornisce acquisizione di immagini a colori ad alta risoluzione e gestione integrata dei risultati di ispezione per supportare il controllo di produzione e processo nella produzione di semiconduttori.

Caratteristiche principali

• AOI combinata 2D e 3D per rilevamento completo dei difetti
• Acquisizione di immagini a colori ad alta risoluzione per migliore discriminazione dei difetti
• Interfaccia di teaching intuitiva e gestione dettagliata dei risultati
• Supporto di interfacciamento EFEM (modulo front-end dell'apparecchiatura) per integrazione in linea
• Stadio di movimento X/Y/Z in granito ad alta precisione per posizionamento stabile e ripetibile

Gestione wafer e meccanica

• Supporto per wafer ringframe da 8in e 12in
• Configurazioni multi load port flessibili e opzioni di movimentazione a doppio braccio
• Progetto di chuck a vuoto poroso stabile per posizionamento sicuro del wafer

Elementi di ispezione

• Ispezione dei die del wafer: chipping, contaminazione e difetti correlati
• Ispezione dei bump: altezza, offset, coplanarità e analisi delle caratteristiche dei bump

Applicazioni

• AOI a livello wafer per produzione di semiconduttori e MEMS
• Ispezioni avanzate che richiedono metrologia 2D/3D combinata e imaging a colori

Specifiche tecniche

• Sistema ottico AOI 2D & 3D ad ultra-precisione
• Unità di acquisizione immagini a colori ad alta risoluzione
• Interfaccia di teaching user-friendly e strumenti di gestione dei risultati
• Supporto di interfacciamento EFEM
• Stadio di movimento X/Y/Z in granito ad alta precisione
• Supporto per wafer ringframe 8in e 12in
• Configurazione multi load port e movimentazione a doppio braccio
• Chuck a vuoto poroso per fissaggio stabile del wafer
• Ambito di ispezione: die wafer (chipping, contaminazione), bump (altezza, offset, coplanarità)