diametro della piattaforma di movimento
Profilo basso
Eccentricità e planarità < 100 nm
Opzione di autobloccaggio a riposo tramite precarico magnetico
Panoramica del prodotto
Gli stadi di rotazione a basso profilo ad azionamento diretto della serie PIglide RL sono progettati per garantire la massima precisione con un design a basso profilo. È possibile combinare diverse opzioni per creare una soluzione ideale per l'indicizzazione punto-punto o la scansione a velocità costante. Gli stadi RL offrono una precisione di corsa, una planarità e un'oscillazione superiori.
motore a 3 fasi
Senza spazzole
Senza scanalature
Bassa coppia di cogging
Encoder assoluto (opzionale)
Gli encoder assoluti forniscono informazioni di posizione esplicite che consentono di determinare immediatamente la posizione. Ciò significa che non è necessario un riferimento durante l'accensione, il che aumenta l'efficienza e la sicurezza durante il funzionamento.
Accessori e opzioni
Encoder incrementale o assoluto
Passaggio a vuoto
Autobloccante a riposo mediante precarico magnetico
Apertura trasparente su richiesta
Filtro PIglide e kit di preparazione dell'aria
Controllori di movimento e servoazionamenti a uno o più assi
Configurazioni multiasse/personalizzate
Piastre di base in granito e sistemi per la riduzione delle vibrazioni
Campi di applicazione
Allineamento ottico, ispezione wafer, allineamento wafer, tecnologia di misura, sistemi di ispezione, calibrazione, scansione.
Grazie al movimento privo di attrito, non si formano particelle, il che rende gli stadi PIglide ideali per le applicazioni in camera bianca.
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