Piastra di posizionamento rotativa A-63x PIglide RL series
a motoremultiassedi precisione

Piastra di posizionamento rotativa - A-63x PIglide RL series - Physik Instrumente - a motore / multiasse / di precisione
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Caratteristiche

Orientazione
rotativa
Tipo
a motore
Numero di assi
multiasse
Altre caratteristiche
di precisione, a basso profilo, di misura, a cuscino d'aria

Descrizione

diametro della piattaforma di movimento Profilo basso Eccentricità e planarità < 100 nm Opzione di autobloccaggio a riposo tramite precarico magnetico Panoramica del prodotto Gli stadi di rotazione a basso profilo ad azionamento diretto della serie PIglide RL sono progettati per garantire la massima precisione con un design a basso profilo. È possibile combinare diverse opzioni per creare una soluzione ideale per l'indicizzazione punto-punto o la scansione a velocità costante. Gli stadi RL offrono una precisione di corsa, una planarità e un'oscillazione superiori. motore a 3 fasi Senza spazzole Senza scanalature Bassa coppia di cogging Encoder assoluto (opzionale) Gli encoder assoluti forniscono informazioni di posizione esplicite che consentono di determinare immediatamente la posizione. Ciò significa che non è necessario un riferimento durante l'accensione, il che aumenta l'efficienza e la sicurezza durante il funzionamento. Accessori e opzioni Encoder incrementale o assoluto Passaggio a vuoto Autobloccante a riposo mediante precarico magnetico Apertura trasparente su richiesta Filtro PIglide e kit di preparazione dell'aria Controllori di movimento e servoazionamenti a uno o più assi Configurazioni multiasse/personalizzate Piastre di base in granito e sistemi per la riduzione delle vibrazioni Campi di applicazione Allineamento ottico, ispezione wafer, allineamento wafer, tecnologia di misura, sistemi di ispezione, calibrazione, scansione. Grazie al movimento privo di attrito, non si formano particelle, il che rende gli stadi PIglide ideali per le applicazioni in camera bianca.

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