Piastra di posizionamento rotativa A-68 series

a motoremultiassedi precisione

- Piattaforma di movimento di 365 mm di diametro, apertura di 260 mm di diametro - Eccentricità e planarità < 300 nm Panoramica del prodotto Gli stadi di rotazione ad azionamento diretto della serie PIglide RLA sono progettati per una precisione elevatissima. Hanno un profilo basso e un'ampia apertura libera. Gli stadi RLA offrono una precisione di corsa, una planarità e un'oscillazione superiori. motore di coppia a 3 fasi Senza spazzole Bassa coppia di cogging Encoder assoluto (opzionale) Gli encoder assoluti forniscono informazioni di posizione esplicite che consentono di determinare immediatamente la posizione. Pertanto, non è necessario fare riferimento all'accensione e questo aumenta l'efficienza e la sicurezza durante il funzionamento. Accessori e opzioni Encoder incrementale o assoluto Filtro PIglide e kit di preparazione dell'aria Controllori di movimento e servoazionamenti mono o multiasse Configurazioni multiasse/personalizzate Piastre di base in granito e sistemi per la riduzione delle vibrazioni Campi di applicazione Tomografia, sistemi beamline, metrologia di wafer, ispezione di wafer, tecnologia di misura, sistemi di ispezione, calibrazione, scansione. Grazie al movimento privo di attrito, non si formano particelle, il che rende gli stadi PIglide ideali per le applicazioni in camera bianca.