Piastra di posizionamento rotativa A-68x

a motoremultiassedi precisione

- Piattaforma di movimento di 365 mm di diametro, apertura di 260 mm di diametro - Eccentricità e planarità < 300 nm Gli stadi di rotazione piani ad azionamento diretto della serie PIglide RLA sono progettati per la massima precisione. Hanno un profilo basso e un'ampia apertura libera. Gli stadi RLA offrono una precisione di corsa, una planarità e un'oscillazione superiori. Encoder assoluto (opzionale) Gli encoder assoluti forniscono informazioni di posizione esplicite che consentono di determinare immediatamente la posizione. Ciò significa che non è necessario fare riferimento durante l'accensione, aumentando l'efficienza e la sicurezza durante il funzionamento. Campi di applicazione Tomografia, sistemi beamline, metrologia di wafer, ispezione di wafer, tecnologia di misura, sistemi di ispezione, calibrazione, scansione. Grazie al movimento privo di attrito, non si formano particelle, il che rende gli stadi PIglide ideali per le applicazioni in camera bianca. motore a 3 fasi - Senza spazzole - Bassa coppia di cogging Accessori e opzioni - Encoder incrementale o assoluto - Filtro PIglide e kit di preparazione dell'aria - Controllori di movimento e servoazionamenti mono o multi asse - Configurazioni multiasse/personalizzate - Piastre di base in granito e sistemi per la riduzione delle vibrazioni